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DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機DH900DZX使用說明書

該鍍膜機可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質或裝飾涂層，具有鍍膜速度快、膜層質量好的優點。

　　◆ 真空室：鍍膜室尺寸900mm×900mm×1000mm；箱式、前開門結構；

　　◆ 抽氣系統：機械泵：前級泵70L/S；維持泵：2X-8旋片泵；羅茨泵：ZJP-150； 擴散泵：KT-500 ；分子泵: FF250/1600（選配）；

　　◆ 極限真空：5×10-4Pa；恢復真空：5×10-3 Pa（小于20min）；

　　◆ 鍍膜系統：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源；

　　◆ 輔助鍍膜系統：脈沖偏壓電源，條形離子源（選配）；

　　◆ 膜厚測量系統：石英晶體膜厚監控系統（選配）；

　　◆ 進氣系統：自動壓強控制+多路質量流量控制系統；

　　◆ 操作方式：手動按鍵式；控制系統配置：研華工控機，80G硬盤，512內存+日本三菱PLC；10英寸液晶顯示觸摸屏界面；

　　◆ 旋轉夾具：公轉/自轉夾具，速度從 0～15r/min 無級可調；

　　◆ 工件烘烤：室溫～300℃；

　　◆ 供電電源:  三相380V，50Hz。

　　◆  特殊規格可定制。

DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機DH900DZX使用說明書

TU-10 DU-20 HH.S21-4 HH.S11-2 HH.S11-2-S  HH.S21-6-S HH.S21-8-S WZZ-1  HH.S21-4-S  DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4  DZKW-D-2